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首頁 產品中心 晶圓搬運機器人 尼得科-三協大氣用半導體晶圓搬運機器人
大搬送范圍的設計
獨立的雙驅動系統實現2片同時取放
緊湊的構造、很小的占有面積
應對10mm的片間距
和晶圓合同片間距的2片同取放
低取片高度
具有多功能和可回旋的手臂
3段鏈接ARM無行走軌道的設計、應對最大5臺晶圓合平行排列
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