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      SR8241(尼得科-三協半導體晶圓搬運用機器人)

      • 大搬送范圍的設計

      • 獨立的雙驅動系統實現2片同時取放

      • 緊湊的構造、很小的占有面積

      • 應對10mm的片間距

      • 和晶圓合同片間距的2片同取放

      • 低取片高度

      • 具有多功能和可回旋的手臂

      • 3段鏈接ARM無行走軌道的設計、應對最大5臺晶圓合平行排列

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