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      LDI曝光機精密大理石直線電機應用方案

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      晶圓底部填充噴膠方案

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      晶圓組裝檢測設備應用案例

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      LDI曝光機精密大理石直線電機應用方案

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        所屬行業：半導體
        設備名稱：LDI曝光機
        行業應用：線路板外層、柔性線路板等
        使用環境：恒溫車間
        結 構：大理石龍門
        配置說明：KYAC4000系列電機、RSF光柵編碼器、Rexroth/THK導軌、ACS運動控制器
        方案特點：采用智贏無無鐵芯直線電機，最高可以實現運動軸千分之一的速度波動；ACS的運動控制提高整個裝備的運動穩定性；專業的組裝、設計團隊確保方案穩步推進；雷尼紹激光干涉儀提供運動精度報告。
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